甲基三甲氧基硅烷，化学式为C4H12O3Si，英文简称MTMS，外观为无色透明液体状，可溶于乙醇、丙酮等有机溶剂，易吸湿，遇水会水解，与强酸、强氧化剂不相容，易燃烧，性质稳定，耐久性好。
甲基三甲氧基硅烷制备方法较多，通常是以甲基三氯硅烷、甲醇为原料，在溶剂存在条件下进行反应制得。此法所采用的甲基三氯硅烷可以是工业副产物，具有经济效益、环境效益，例如生产二甲基二氯硅烷的副产物中包含甲基三氯硅烷，若不合理利用直接废弃，会对环境造成污染，并会导致资源浪费。
除此之外，甲基三甲氧基硅烷制备方法还有以甲缩醛为原料进行制备，以1,2-二甲基四甲氧基二硅烷为原料进行制备，以甲氧基三甲基硅烷、甲基三氟硅烷为原料进行制备，以甲基三氟硅烷、二甲基二甲氧基硅烷为原料进行制备等。
甲基三甲氧基硅烷反应活性高，拥有三个可以水解的烷氧基以及一个甲基基团，能够使两种不同性质的材料相结合，是最常见的硅烷交联剂、硅烷偶联剂产品之一，即D-20。
甲基三甲氧基硅烷水解后可形成硅氧烷薄膜，具有拒水性，如果在溶剂存在条件下添加催化剂与酞酸丁酯等进行反应，可对纸张、木材等制品进行处理，能够显著提高抗压强度、防水性能。
甲基三甲氧基硅烷主要用作室温硫化硅橡胶交联剂、二氧化硅偶联剂，可以提高产品机械强度、热稳定性、加工性，可用作玻璃纤维、层压塑料表面处理剂，也可用作有机合成原料，用来制备有机硅聚合物、有机硅化合物。甲基三甲氧基硅烷下游应用范围广泛，涉及医药、电子、电力、造纸、建材、航空航天、军工等行业。
受益于下游行业不断发展壮大，以及应用领域不断拓宽，全球甲基三甲氧基硅烷市场持续上升。2017-2023年，全球甲基三甲氧基硅烷需求量年复合增长率为4.9%；2023年，全球甲基三甲氧基硅烷需求量为3.3万吨。
在海外市场中，甲基三甲氧基硅烷生产商主要有美国陶氏杜邦（Dow DuPont）、美国迈图（Momentive）、德国赢创（Evonik）、德国瓦克化学（Wacker Chemie AG）、日本信越（Shin-Etsu）等；在我国市场中，甲基三甲氧基硅烷生产商主要有张家港新亚化工有限公司、杭州硅宝化工有限公司、湖北力鼎化工有限公司、江苏扬子江天悦新材料有限公司等。