低温泵是一种利用20K以下低温表面凝聚吸附气体的真空泵，一般是以低温液体（液氮或液氦）或低温制冷机为冷源。低温泵适合用于需要高真空度的领域，尤其适合应用于要求洁净无油或快速抽气的场合，例如半导体、显示面板（LCD/LED/OLED）制造工艺领域、真空镀膜领域、科研、科学工程领域。
 近几年，国家高度重视并大力支持半导体产业的发展，先后出台了一系列促进行业发展的政策，《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》、《“十四五”国家信息化规划》等产业政策，明确将半导体作为未来科技与产业发展的方向，鼓励投资者进入半导体产业，为低温泵产业的技术创新、产品结构优化升级提供了良好的政策环境。
得益于国家政策的扶持与终端消费市场的发展，未来中国半导体、显示面板等高新技术产业的规模将持续扩张。2029年中国低温泵行业市场规模将达到20亿元。
在国家政策的推动下，我国低温泵国产化替代不断加速。一方面是由于国家出台了一系列政策，鼓励和支持国产设备的研发和应用，为低温泵国产化替代提供了良好的政策环境；另一方面，近年来本土企业加大技术投入，低温泵生产工艺不断改进，与进口产品的差距逐渐缩小。此外，受美国芯片法案等因素影响，国内半导体企业开始扶持国产品牌，逐渐采用国产低温泵。但由于国内低温泵技术的研发起步较晚，技术积累相对较少。虽然近年来国内企业在低温泵领域取得了一定进展，但与国际先进水平相比仍存在一定差距。国内企业在技术研发、产品设计、制造工艺等方面还需进一步加强，以提升产品的性能和质量。
目前国内市场上低温泵产品主要由日本爱发科、住友、Edwards等外资品牌主导，这些品牌凭借其先进的技术、稳定的质量在市场中占据较高的市场份额。在半导体设备方面，住友和Edwards在技术方面具有较强的竞争力；在显示面板及其他领域，低温泵的技术要求相对较低，市场主要被宁波爱发科低温泵有限公司等企业占据。近年来，本土企业中的安徽万瑞冷电科技有限公司、浙江博开机电科技有限公司发展较为迅速，市场竞争力不断提升，逐渐对进口产品形成替代。