六氟化硫是一种无机化合物，化学式为SF6，常温常压下为无色无臭无毒不燃的稳定气体，温度不超过 180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。
六氟化硫主要应用于电力工程领域，其具有优良的绝缘性能和减弧能力，即使在电弧下发生瞬间分解、电离，但在电弧消减后也能很迅速地恢复到原有的稳定状态。因此，工业级六氟化硫广泛用于电力设备中的输配电及控制设备行业；电子级六氟化硫一般是指5N以上纯度的产品，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。
六氟化硫的工艺流程主要为电解制氟、反应制气、气体净化、气体精制、精馏提纯、压缩充装等。
随着中国集成电路产业的不断发展，电子六氟化硫的市场需求加快，但具备大规模生产电子六氟化硫能力的公司很少。目前主要生产厂商包括成都科美特特种气体有限公司、昊华气体有限公司、南大光电（淄博）有限公司、福建德尔科技股份有限公司和福建永晶科技股份有限公司。
从2020年第二季度，随着代表新基建方向的国内在建和新批特高压输电项目的陆续开工，以及集成电路行业需求增长，六氟化硫产品处于供不应求的状态。
2024 年上半年，国内外远距离、特高压输变电项目全面启动，工业级六氟化硫市场需求量同样增加明显。下游电力电气需求企业主要包括思源电气、ABB、西门子、山东泰开等。