微机械薄膜变形镜（MMDM）又称微机电系统变形镜、MEMS变形镜，是采用微机电系统（MEMS）工艺制成的变形镜（DM）。根据表面形状不同，微机械薄膜变形镜可分为连续表面变形镜、分立表面变形镜两种，其中分立表面变形镜又分为piston型、pistion-tip/tilt型。
　　微机械薄膜变形镜主要由镜面层、电极层、基底层三部分组成。镜面层通常由金属层、电介质层、氮化硅层等多层薄膜组成，薄膜厚度一般在0.5-10微米之间，镜面材料包括多晶硅、单晶硅、金属、薄膜等。电极层上分布多个电极，施加不同的电压后，电极层与镜面层之间产生电势差，利用静电力吸附薄膜，使之产生形变。
　　微机械薄膜变形镜含有多个微小校正单元，能够实时、动态校正激光、天文望远镜、光学系统、光学测试、眼科诊断、视网膜扫描显示等各种领域常见的波前畸变，实现高质量成像。
　　微机电系统（MEMS）是微机械薄膜变形镜的基础制造工艺。MEMS技术是上世纪八十年代发展起来的一种多学科交叉技术，具有制造工艺独特、体积小、易于高密度集成等特点。21世纪以来，MEMS技术发展迅速，在光学、电子、汽车、通信、医疗等领域应用也越来越深入。
　　近年来，国内外研究机构在微机械薄膜变形镜领域均取得了良好成果，包括美国Boston大学精密工程研究实验室、美国空军研究实验室、华中科技大学、南京航空航天大学、中国科学院光电技术研究所等。
　　在商业化方面，全球微机械薄膜变形镜供应商包括波士顿微机械公司、荷兰OKO公司、法国Alpao公司、艾斯自适应光学公司、得州仪器、贝克自适应光学公司等。荷兰OKO公司创始人为微机械薄膜变形镜发明者，公司产品包括微机械薄膜变形镜、PDM变形镜、波前传感器（WFS）、波前分析控制软件等，其新产品96通道三合一微机械薄膜变形镜具有小体积、高速率、多通道等特点。
　　微机械薄膜变形镜具有体积小、易于批量生产、宽带宽等特点，在自适应光学、激光加工、光学测试、医学成像等领域应用广泛。欧美企业在微机械薄膜变形镜技术研究、生产制造等方面处于全球领先水平，我国与之相比还有较大差距，产品需求仍依赖进口。