超声波扫描显微镜，英文简称SAM，也称为超声波显微镜，是利用超声波作为传播媒介的无损检测仪器。超声波扫描显微镜基于超声波脉冲回波技术，发射超声波与被测样品相互作用，通过检测反射波强度和相位，获得扫描图像。
　　超声波扫描显微镜的工作原理是，特定超声波声学组件发射高频超声脉冲，超声波与被测样品发生相互作用，利用探测器对样品反复扫描，获取样品的反射波信号，由于超声波在不同密度材料中的传播速度与反射系数存在差异，通过检测反射波信号强度与相位，转换为电信号，再经处理计算可获得扫描图像。
　　与光学显微镜、电子显微镜、X射线检测相比，超声波扫描显微镜具有灵敏度高、图像分辨率高、获取信息完整、适用范围广、检测速度快、检测成本低、无辐射等优点，检测精度达到微米级别，可以检查样品内部可能会出现的分层、裂纹、空洞、杂质等缺陷，确定缺陷的形状、尺寸、位置等参数。
　　超声波扫描显微镜被广泛应用在生物学、医学、复合材料、新材料、半导体、集成电路、微电子、液晶显示、锂电池电解液、金属基板、焊接件、工业设备、航空航天零部件等精密检测领域，实现活体样本观察、材料结构分析、生产过程控制、封装测试、产品质量检测、产品研发、工艺升级等操作。
　　超声波扫描显微镜是科研领域以及较多行业生产制造所不可或缺的检测仪器。2023年，全球超声波扫描显微镜市场规模约为88.7亿元；预计2023-2029年，全球超声波扫描显微镜市场将继续以4.3%的年复合增长率增长，到2029年市场规模将达到114.3亿元。
　　在全球范围内，超声波扫描显微镜生产商主要有美国Sonix、美国OKOS、美国SONOSCAN、加拿大Tessonics、德国KSI、德国PVA TePla、日本Honda Electronics、日本Hitachi、日本NTS、日本Insight K.K.、韩国AcouLab、中国和伍精密等。
经过不断发展，超声波扫描显微镜分辨率、检测精度不断提高，对比来看，全球范围内，美国、德国企业处于领先地位。为满足下游市场需求，进入21世纪，我国超声波扫描显微镜研究步伐不断加快，2012年，和伍精密研发出国内首台标准机型S100超声扫描显微镜。现阶段，我国超声波扫描显微镜与国际先进水平差距不断缩小，企业竞争力正在逐步增强。