超声波衍射时差法，英文简称TOFD，是基于工件内部结构的衍射能量来检测缺陷的技术，是工业无损检测技术的一种。
　　超声波在介质中传输时，遇到裂纹、孔洞会发生衍射现象。TOFD技术利用探头发射超声波，再通过探头接收缺陷尖端的衍射信号，根据衍射信号到达的时间差距来确定缺陷的位置及大小。
　　20世纪70年代，TOFD技术被提出，由于TOFD探头需要具备优良的微弱衍射波接收能力，以满足检测精度要求，直到20世纪90年代，TOFD检测仪器才被开发问世。我国于20世纪70年代检测出裂纹尖端衍射信号，90年代时，TOFD检测仪器需求依靠进口，进入21世纪，我国研发出国产首台TOFD检测仪器。
　　TOFD检测仪器通常采用两个探头，一个发射超声波，另一个接收超声波，而不是像传统的超声波检测技术一样利用一个探头同时发射和接收超声波，这是由于衍射波能量低，单探头难以满足高灵敏度接收信号的要求。TOFD探头通常采用短脉冲、宽频带的压电晶片作为发射与接收单元，以提高超声波发射效率与接收灵敏度。
　　TOFD具有扫描覆盖范围大、检测灵敏度高、检测速度高、缺陷检出率高、检测精度高、检测效率高、可靠性好、数据可存储等优点。TOFD可以与传统的脉冲回波检测技术配合使用，能够进一步提高检测精度。
　　TOFD可以用于金属、合金以及陶瓷、复合材料等材质检测方面，可检测管道、容器、零部件等产品的裂纹、孔洞、开口缺陷、中间缺陷、未焊透焊缝、内凹、未熔合坡口等，能够实现半自动或者全自动扫描检测，特别是在焊接检测领域应用价值大，被广泛应用在石油、化工、汽车、电力、航空航天等行业。
　　在海外市场中，TOFD检测仪器生产商主要有以色列Sonotron NDT、日本奥林巴斯OLYMPUS等；在我国市场中，TOFD检测仪器生产企业主要有武汉中科创新技术股份有限公司、北京北极星辰科技有限公司、南通友联数码技术开发有限公司等，其中，中科创新是我国首台国产TOFD检测仪器研发生产商。
　　在信息产业快速发展、制造业技术不断升级背景下，超声波无损检测技术向着数字化、高精度化方向迈进，超声波衍射时差法（TOFD）、相控阵超声检测（PAUT）等新型技术逐渐对传统超声波无损检测技术形成替代。受益于此，TOFD检测仪器行业发展前景广阔。