全自由度磁悬浮泵是一种特殊的磁悬浮泵，采用磁悬浮技术实现在六个方位（即六自由度）上悬浮和旋转，具有无接触、无摩擦、无需润滑、精度高、可靠性高、负载高、噪音低、无振动等特点。自由度（DOF）是指物体能够对坐标系进行独立运动的数目，一个简单的物体有六个自由度。
　　相比于传统机械泵，全自由度磁悬浮泵消除了因接触、摩擦产生的磨损和能量损耗问题，同时全自由度磁悬浮泵也可根据工作状态实时调整位置，工作稳定性、可靠性更高。全自由度磁悬浮泵适用于洁净超高真空环境中，在半导体、生物医药、医疗器械、新能源、航天航空等领域应用空间广阔。
   在半导体领域，全自由度磁悬浮泵可用于湿制程清洗、电镀、化学机械抛光（CMP）、湿法刻蚀等环节的化学试剂和抛光液传送；在生物医药领域，全自由度磁悬浮泵可用于输送血液、脂肪乳剂、化学药液等流体。
　　多自由度是磁悬浮泵技术设计难点，由于技术研发难度大，全自由度磁悬浮泵应用受到一定限制。长期以来，全自由度磁悬浮泵技术由瑞士企业所垄断，尤其是用于超纯净强腐蚀应用环境的磁悬浮泵，我国市场需求依赖进口，全自由度磁悬浮泵国产替代需求迫切。
　　近年来，槃实科技、众杰来同、中科科仪、南京工业职业技术大学等企业和院校加大了对高性能磁悬浮泵的研究力度，并取得了重要突破。如南京工业职业技术大学团队研发出了主要用于半导体领域超纯净强腐蚀应用环境的“全自由度磁悬浮离心式流体泵”，攻克了半导体领域核心关键部件“卡脖子”难题。
　　相较于进口产品，国产全自由度磁悬浮泵采购费用低、供货周期短。凭借其优势，“全自由度磁悬浮离心式流体泵”受到了国内企业的青睐，目前该产品已进入量产销售阶段，累计销售千余套。
   全自由度磁悬浮泵技术研发难度大，要实现其全自由度悬浮和旋转，需攻克转子动平衡检测、悬浮旋转解耦设计及控制算法等一系列技术难题。目前我国已打破国外技术垄断，国产全自由度磁悬浮泵将凭借高性价比、短供货周期等优势抢占更多市场。