砷烷又称砷化氢，是一种砷化合物。电子级砷烷指纯度为6N及以上的砷烷，具有化学稳定性好、纯度高等优势，在显示面板、光伏、集成电路等领域拥有广阔应用前景。
电子级砷烷纯度极高，提纯为其生产关键环节。低温冷冻/精馏法、吸附法以及膜分离法为电子级砷烷常用提纯方法。低温冷冻/精馏法指利用精馏塔对砷烷进行精馏操作，进而生产出高纯砷烷，该法具有操作难度大、生产流程复杂等缺陷；吸附法可细分为网状聚合物吸附、金属氧化物吸附、过渡金属化合物吸附、分子筛和活性炭吸附、金属及其合金吸附等；膜分离法可用于制备超高纯度砷烷，未来有望成为电子级砷烷主流提纯方法。
近年来，国家对电子特气行业发展高度重视，已出台众多相关政策予以支持，包括《“十四五”原材料工业发展规划》、《重点新材料首批次应用示范指导目录》、《鼓励外商投资产业目录》等。在国家政策推动下，电子级砷烷作为电子特气，行业发展速度将有所加快。
电子级砷烷在众多领域应用广泛，包括显示面板、光伏、集成电路等。在显示面板领域，电子级砷烷可用于制造液晶显示器；在光伏领域，其可用于制造太阳能电池；在集成电路领域，其可用于制造砷化镓集成电路。受益于下游行业发展速度加快，电子级砷烷市场需求将日益旺盛。
全球电子级砷烷主要生产商包括美国Versum Materials公司、美国英特格公司（Entegris）、日本大阳日酸株式会社（TAIYONIPPONSANSO）、英国林德集团（Linde）等。在本土市场方面，经过多年发展，我国电子级砷烷生产技术不断进步，具备其量产能力的企业数量持续增长。正帆科技、南大光电、华特气体等为我国电子级砷烷市场主要参与者。正帆科技主营业务包括高纯工业气体、电子特气、电子先进材料以及电子工艺设备等，其电子级砷烷年产能达到20吨。
电子级砷烷作为一种电子特气，在众多领域应用广泛。未来伴随国家政策支持以及市场需求逐渐释放，我国电子级砷烷行业发展前景将持续向好。与海外发达国家相比，我国电子级砷烷行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有部分企业具备其稳定量产能力。