MEMS热导式气敏传感器是一种基于MEMS技术和热导原理的气体检测设备，主要用于测量和识别特定气体的存在和浓度。
　　气敏传感器技术路线多样，根据工作原理不同，分为光学型、压电型、电学型，其中电学型气敏传感器又分为半导体式、电化学式、热导式、催化燃烧式。热导式气敏传感器与MEMS的兼容性高，两者结合可以制备出高精度、小体积、高灵敏度、低成本、长寿命、宽量程、易于大规模部署的MEMS热导式气敏传感器。
　　MEMS热导式气敏传感器可用于氢气、甲烷、二氧化碳、硫化氢、六氟化硫、氦气等气体的监测，在氢能、天然气开采、环境监测、化工、医疗、半导体制造、污水处理、电力设备、航天航空等领域具有广阔应用空间。在氢能领域，MEMS热导式气敏传感器可用于氢气的安全监测，保障氢能产业链安全运行。
　　在国际市场上，MEMS热导式气敏传感器相关企业包括德国HLP公司、瑞士Neroxis公司、荷兰Xensor公司等。MEMS热导式气敏传感器基于MEMS技术制成，MEMS技术即微机械加工技术，我国MEMS技术研究起步较晚，MEMS传感器精度、敏感度等性能还处在追赶国外水平的阶段，高端MEMS传感器进口依赖度较高，尤其是高端MEMS传感器芯片。
　　我国拥有MEMS技术并将其应用在热导式气敏传感器的企业较少，包括香港中华煤气集团能源研究院氢能研发中心、广东增敏科技有限公司（增敏科技）、苏州芯镁信电子科技有限公司等。高端MEMS气敏传感器市场长期被西方国家垄断，国内企业面临着技术封锁和高昂的进口成本。
　　增敏科技自主研发的工业级第三代热导式MEMS数字气敏传感器于2024年投产，性能居于国际同行业领先水平，填补了国内在该领域的空白。增敏科技生产中心设在广州增城，搭建了年产100万颗MEMS气敏传感器芯片的生产线，扩产后可达到500万颗/年。
　　基于MEMS技术和热导原理的MEMS热导式气敏传感器具有体积小、精度高、量程宽、成本低等优势，在氢能、环保、半导体、石油化工等领域应用空间广阔。MEMS热导式气敏传感器技术壁垒较高，目前我国已实现其国产化生产供应，随着相关技术发展、生产规模扩大，MEMS热导式气敏传感器国产化率将进一步提升。