X射线光电子能谱仪简称XPS，是一种表面分析仪器，用于表征材料表面元素及其化学状态，其常与俄歇电子能谱技术（AES）配合使用。
　　X射线光电子能谱仪组成部分包括进样室、X射线激发源、超高真空系统、离子源、能量分析系统、数据采集和处理系统等。工作原理是利用X射线激发源（如Al Kα单色化X射线源）照射样品表面，样品表面的电子被激发出来，探测从样品表面射出的光电子能量分布，通过测量逃逸光电子的动能，来表征出样品中的元素组成和化学态信息。
　　X射线光电子能谱仪具有轻元素敏感、价态敏感、表面敏感等特性和能量分辨率高、检测效率高、分析速度快等优势，是新材料研发中不可或缺的表征仪器，在基础科研、半导体、生物医药、能源电池、航空航天、纳米器件、石油化工等领域有着广泛应用。
　　近年来，随着以上领域的发展，X射线光电子能谱仪应用需求不断释放，我国X射线光电子能谱仪需求方以各大高校院所为主。目前我国X射线光电子能谱仪市场规模约6.5亿元，约占全球市场的11%。
　　X射线光电子能谱仪技术在不断发展，产品类型分为通用型、定制型两大类，其中定制型X射线光电子能谱仪又分为近常压XPS（NAP-XPS）、ARPES（角分辨光电子能谱仪）、HAXPES（硬X射线光电子能谱仪）三种类型。
　　X射线光电子能谱仪技术壁垒高，市场长期由国外企业垄断。国际X射线光电子能谱仪供应商主要包括美国赛默飞世尔ThermoFisher、日本爱发科PHI、日本岛津KRATOS、德国ScientaOmicron、德国SPECS等。
　　X射线光电子能谱仪是新材料研发中不可或缺的表征仪器，近年来，随着地缘政治的冲突，国外对华出口审核趋紧，X射线光电子能谱仪国产替代需求释放。2023年12月，国家重点研发计划专项“X射线光电子能谱分析仪”正式立项，在此背景下，X射线光电子能谱仪国产化研发热情提升。
    我国X射线光电子能谱仪相关企业包括苏州华萃仪器、深圳新凯来、上海费勉仪器等。其中苏州华萃仪器成立于2023年，由长三角先进材料研究院孵化，目前其已实现半球电子能量分析器、微聚焦/双阳极X射线源、ARPES整机系统的全面国产化生产。