辉光放电质谱仪（GDMS）即辉光放电原子发射质谱仪，是一种利用辉光放电对固体材料样品痕量杂质成分、深度进行直接进样分析的仪器。工作原理是通过辉光放电产生等离子体，样品表面被正离子撞击发生溅射，溅射出的原子进入等离子体中离子化，在质量分析器中根据质荷比将不同离子分开，将具有特定质荷比的离子传输到检测器，计算出各元素的质量分数。
　　辉光放电质谱仪主要由辉光放电离子源、质量分析器、离子检测器、数据采集与处理系统、真空系统组成。根据辉光放电离子源供电方式不同，辉光放电质谱仪分为直流辉光放电、射频辉光放电、脉冲辉光放电三种，其中直流辉光放电质谱仪商业化程度高、应用广泛。
　　辉光放电质谱仪具有直接固态取样、分析速度快、灵敏度高、准确性好、测量过程稳定等特点，是直接分析固态导体材料中痕量元素的最有效工具，广泛应用在高纯金属、半导体材料、非导电材料、镀层材料、高温合金、高纯石墨等的杂质分析、深度分析中。
　　我国质谱仪技术水平与国际相差较大，美国安捷伦、赛默飞世尔、日本岛津等企业的质谱仪几乎垄断全球市场。其中辉光放电质谱仪生产商主要包括赛默飞世尔、日本堀场（HORIBA）等。但国外对辉光放电质谱仪实施严格的出口管制，在地缘政治日趋紧张的背景下，辉光放电质谱仪国产替代需求迫切。
　　近年来，在国家专项项目支持下，我国已研制出多种型号的辉光放电质谱仪，目前已进入产业化推广阶段，研制单位包括西北核技术研究院、坤元仪器（天津）有限公司、西安交通大学、陕西威思曼高压电源股份有限公司等。坤元仪器（天津）有限公司与西安交通大学联合研制的Sparkle辉光放电质谱仪是“十四五”国家重大科学仪器设备研发专项成果之一，其痕量元素检测达到国际一流水平。
　　辉光放电质谱仪主要用于无机固体材料痕量元素分析，在材料科学、半导体、新能源、航天航空、核工业等领域具有广阔应用需求。辉光放电质谱仪技术壁垒高，且国外对其实施严格出口管控。为避免卡脖子，近年来，在政策扶持下，我国逐渐实现了辉光放电质谱仪国产化生产，与此同时，辉光放电质谱仪计量校准规范也不断完善。