X射线源是X射线检测设备的核心部件，其焦点尺寸决定了设备的检测精度，焦点尺寸越小，检测精度越高。微焦点X射线源属于高端X射线源，其焦点尺寸通常在微米及纳米级。
　　微焦点X射线源一般由微焦点X射线管、电源组成，其中微焦点X射线管由阴极（用于产生电子）、阳极、栅极、聚焦极、绝缘外壳等组成。根据阴极材料不同，微焦点X射线源又分为基于冷阴极材料的微焦点X射线源、基于热阴极材料的微焦点X射线源。
　　根据密封类型不同，微焦点X射线源分为闭管微焦点X射线源（封闭式）、开管微焦点X射线源（开放式）两大类，其中闭管微焦点X射线源使用寿命更长，多应用在工业无损检测场景，开管微焦点X射线源的焦点尺寸更小、放大倍率更高、成像效果更好，在要求苛刻的科研领域应用较多。
　　微焦点X射线源可以满足高精度检测要求，近年来，随着集成电路、电子制造、新能源电池、生物医疗、航天航空、军工等领域对检测精度要求提升，微焦点X射线源市场需求空间不断扩大，2025年我国微焦点X射线源市场空间将达20亿元。
　　微焦点X射线源技术壁垒高，国际生产商主要包括美国赛默飞世尔（闭管微焦点X射线源）、日本滨松光子（闭管微焦点X射线源）、瑞士Comet（开管微焦点X射线）、德国沃克斯X-Ray WorX（开管微焦点X射线）等。长期以来，我国微焦点X射线源市场一直处于空白，需求严重依赖进口。
　　近年来，受益于国内精密制造产业发展，微焦点X射线源国产替代需求释放，其中无锡日联科技股份有限公司（日联科技）、丹东华日理学电气有限公司等企业在微焦点X射线源国产化方面取得了良好成效。日联科技是全球第三个拥有封闭式热阴极微焦点X射线源技术的企业，打破日美企业垄断，根据年报信息，2024年，日联科技实现营业收入7.39亿元，同比增长25.89%。
   微焦点X射线源是高精度X射线检测设备的核心部件，在集成电路、电子制造、新能源电池等领域具有广阔应用空间。微焦点X射线源技术壁垒高，长期以来，我国市场依赖进口，目前我国已实现其国产化生产，在国产替代效应下，国产微焦点X射线源市场占比将不断提升。