稀土是指十七种稀土元素，包括镧、铈、钕等轻稀土，铽、镝等中稀土，镱、钪、钇等重稀土。以一种高纯度的稀土元素为材料制备的可用高能粒子轰击，使表面组分以原子形式溅射出来，沉积在基材表面形成薄膜的材料，即稀土金属靶材。
　　稀土金属靶材可以广泛应用在光学薄膜、磁性材料、传感器等制造领域，在高技术产业中地位重要。稀土金属靶材包括稀土金属平面靶材、稀土金属旋转靶材两大类。稀土金属平面靶材通常为圆形、方形，使用时与背靶连接再进行轰击；稀土金属旋转靶材通常为圆筒形，使用时以一定的速度旋转同时进行轰击。
　　稀土金属靶材种类较多，以稀土金属铈靶材为例，铈，化学符号Ce，银白色金属，有延展性，熔点795℃，可在空气中燃烧，可与水发生反应，可溶于酸，20℃时电阻率73×10^-8Ω•m，稀土金属铈靶材可以制成平面靶材、旋转靶材应用在半导体、平板显示、光学元件等制造领域。
　　镱，化学符号Yb，银白色金属，质地软，有延展性，熔点824℃，在空气中可缓慢氧化，可与水发生反应，可溶于稀酸、液氨。稀土金属镱靶材主要应用在OLED屏幕制造中，可用于金属阴极层制备方面，与镁、银阴极相比，能够降低能耗、提高分辨率、提升色彩饱和度。
　　我国稀土金属靶材开发与生产企业主要有包头稀土研究院、中国有研科技集团有限公司、湖南高创稀土新材料有限责任公司等。
　　早期，我国高纯度稀土金属镱靶材需求主要依靠进口，在我国平板显示产业核心竞争力不断增强、OLED产能规模不断扩大背景下，为避免被卡脖子，高纯度稀土金属镱靶材必须实现自主生产。包头稀土研究院开发出低成本、高效率的高纯稀土金属镱靶材制备工艺，目前已经建成国际领先的OLED用高纯度金属镱靶材生产线，年产能约10吨。
　　钕铁硼是人造永磁材料，磁性能好、机械性能好、能量密度高，在3C电子、新能源汽车等多个领域应用价值大。中国有研科技集团有限公司开发的高性能钕铁硼用稀土金属平面和旋转靶材，可以制备高矫顽力、高剩磁的钕铁硼永磁材料，能够大幅降低高值重稀土铽/镝用量，已经建成年产10万片平面靶和1200支旋转靶的生产线。
除此之外，湖南高创稀土新材料有限责任公司在湖南浏阳建设了年产25吨高纯稀土金属靶材及2000吨高端稀土合金产业化项目，一期包括高纯金属钪、稀土金属靶材、高端稀土镁合金三条生产线，计划年产2吨金属钪、3吨铝钪合金靶、20吨铽镝靶。