MOCVD（Metal-organicChemicalVaporDeposition）金属有机化合物化学气相沉淀，是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压（10-100Torr）下通H2的冷壁石英（不锈钢）反应室中进行，衬底温度为500-1200℃，用直流加热石墨基座（衬底基片在石墨基座上方），H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。
近年来，LED以其节能及环境友好等特性被广泛运用于各类照明领域。作为LED产品关键部件，采用金属有机气相沉积(MOCVD)生产外延片过程产生大量的生产废料。该废料中含有发光材料所必需的元素镓和铟，其中镓通常以GaAs、GaN和InGaN的形式存在于芯片中。镓和铟对电子工业至关重要，从工业应用中铟被归类为重要关键矿产资源，到供应链稀缺性的潜在角度镓和铟被归为战略金属。其独特的性能和有限的资源是其他材料及金属所无法替代的。日益增长的消费需求以及对镓和铟的大量需求的潜力，引发了全球竞争。随着LED行业的快速发展，绿色、清洁回收MOCVD生产废料备受关注。MOCVD设备主要用于氮化镓基及砷化镓基半导体材料外延生长。据统计2024年全球MOCVD设备保有量为5150台，出货量为411台，市场规模为6.86亿美元；预计2025年，全球MOCVD设备保有量为5650台，出货量为442台，市场规模为7.09亿美元。
在我国，回收MOCVD生产废料中的有价金属对保障我国战略金属供给安全具有重大意义。我国LED产业开始于上世纪60年代末，经过30多年的积累，我国已经形成包括LED外延片的生产、LED芯片的制备、LED芯片的封装以及LED产品应用在内的较为完整的产业链。其中氮化镓基LEDMOCVD主要用于生产氮化镓基LED的外延片。目前氮化镓基MOCVD设备约占全部MOCVD市场份额的80%左右。目前中国是全球最大的MOCVD设备需求市场。据统计，2024年，我国MOCVD设备保有量约3142台，出货量约310台，市场规模约28.06亿元；预计2025年，我国MOCVD设备保有量将达3352台，出货量将达315台，市场规模将达28.35亿元。随着MOCVD设备在绿光LED、红光LED、深紫外LED，以及MiniLED、MicroLED、功率器件等诸多新兴领域的逐步应用，MOCVD设备的市场规模将进一步扩大，市场前景广阔。
LED产业链由衬底加工、LED外延片生产、芯片制造和器件封装组成。该产业链中主要涉及的设备包括：衬底加工需要的单晶炉、多线切割机；制造外延片需要的MOCVD设备；制造芯片需要的光刻、刻蚀、清洗、检测设备；封装需要的贴片机、固晶机、焊线台和灌胶机等。LED外延片的制备是LED芯片生产的重要步骤，与集成电路在多种核心设备间循环的制造工艺不同，主要通过MOCVD单种设备实现。因此，MOCVD设备是LED芯片生产和功率器件制造过程中的关键设备。
MOCVD设备行业呈现高度垄断的竞争格局。长久以来MOCVD(金属有机物化学气相沉积)设备作为半导体照明产业链上游的关键制造设备，却一直被国外维易科、爱思强两家公司所垄断，产业的健康和良性发展受到严重制约。2013年，中国MOCVD设备在国产化方面又向前迈进了一大步，在市场推广方面取得了阶段性的成果，包括中晟光电在内的若干家公司所研制的MOCVD设备先后得到了各自用户的认可和验证。
随着中国LED产能在全球的占比不断提高，并且在新兴产品领域布局速度也在不断加快。随着中国半导体照明市场规模迅速成长的情况下，作为行业上游关键制造设备的MOCVD，国产化MOCVD设备在市场推广方面取得了阶段性的成果。中微公司是中国半导体设备企业中极少数能与全球顶尖设备公司直接竞争并不断扩大市场占有率的公司，是国际半导体设备产业界公认的后起之秀。
中微公司是我国半导体设备行业中的领先企业，主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜设备作为光刻机之外的核心微观加工设备，其制程步骤复杂度与工艺开发难度均在业内处于突出地位。中微公司自2017年起已经成为氮化镓基LED市场份额最大的MOCVD设备供应商，在Micro-LED和高端显示领域的MOCVD设备开发及客户验证上取得了良好进展，并正在开发用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的相关设备。
2024年，中微公司用于蓝光照明的PRISMOA7、用于深紫外LED的PRISMOHiT3、用于Mini-LED显示的PRISMOUniMax等产品持续服务客户，持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位。其中PRISMOUniMax产品自2021年6月正式发布以来，凭借其高产量、高波长均匀性、高良率等优点，受到下游客户的广泛认可，在Mini-LED显示外延片生产设备领域处于国际领先。在2022年推出的用于氮化镓功率器件生产应用的MOCVD设备PRISMOPD5，目前已交付客户进行生产验证，并取得了重复订单。除此之外，中微公司正在开发新一代氮化镓功率器件应用的MOCVD设备，将进一步提升设备性能，降低客户生产成本，持续提升公司在氮化镓基MOCVD设备领域的竞争力，预计2025年将付运至客户进行验证。据企业公告数据显示，2024年，中微公司半导体设备营业收入90.65亿元，营业成本53.43亿元，毛利率41.06%。