MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（压阻型感测）来测量这种形变，也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。这两种方法都很流行，轮胎压力监测系统使用比较结实的压阻方法。

调查数据显示，近几年全球MEMS压力传感器行业市场规模呈现波动态势，据统计，2018年全球MEMS压力传感器行业市场规模471.90亿元，2021年全球MEMS压力传感器行业市场规模530.87亿元，同比增长6.50%。具体统计数据如下表：

图表  2018-2022年3季度全球MEMS压力传感器行业市场规模